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    超高純壓力傳感器

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    產品名稱: 超高純壓力傳感器
    產品型號: UNIK 1000 VCR系列（PTX1072）
    產品廠商: Druck（德魯克）
    產品文檔: 無相關文檔
    簡單介紹
        

    本產品適用于： 1. 半導體、太陽能、液晶面板制造設備 2. 純介質和特殊氣體系統壓力測量 3. 超高純及有毒等特種電子氣體等
    超高純壓力傳感器 的詳細介紹


    應用行業：


    • 半導體、太陽能、液晶面板制造設備
    • 純介質和特殊氣體系統壓力測星


    應用流體：


    • l 超高純及有毒等特種電子氣體


    特點：


    • l 可測真空壓力，量程范圍：0-7MPa
    • l 測量精度可達±0.25% FS BSL；
    • l 工作溫度范圍：-40~8（FC；
    • l 硅壓阻敏感元件，高穩定性，高可靠性；
    • l 全316L不銹鋼結構
    • l 壓力接頭脫脂清洗，產品真空包裝；
    • l 快速響應時間，上電時間小于30ms;
    • l 所有接液部分表面電拋光處理，符合EP Grade5；
    • l 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2；




    性能指標

    量程

    0-7MPa表壓之間任意選擇

    0-7MPa顚之間任誕擇

    *大過壓

    4xFS (2OMpa Max)

    封堵壓力

    6xFS (2OMpa Max)

    精度等級

    ±0.25%FS BSL （BSL*佳擬合直線）

    溫度影響

    ±15%FSTHB （TEB:溫度誤差帶）

    材質

    316L不銹鋼

    供電電壓

    7~32Vdc

    輸出形式

    4~20mA;V

    工作溫度范圍

    -40 ~ +80 C

    木卜償溫度范圍

    -20 ~ +80C

    頻率響應

    3.5KHZ

    上電時間

    <30ms

    絕緣電阻

    >100MQ@500VDC

    長期穩定性

    ±0.1%FS 每年

    壓力介質

    與316L不銹鋼兼容的流體

    零點允許誤差

    ±1.0%FS

    滿量程允許誤差

    ±1.0%FS



    電氣接口性能



    編號 描述 *大工作溫度范圍℃  IP等級     零、滿調整
    7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65 是
    G  M12*l四針 -40~+80 65 否

    電氣連接

    接頭類型 選項編號 電子產品選項 I
    4 - 20 mA 電壓1
    DIN, MicroDIN 7,D 1 +ve供電 +ve供電
    2 -ve供電 0V共地
    3 - +ve輸出
    E 外殼 外殼
    M12*l四針 G 1 +ve供電 +ve供電
    2 - +ve輸出
    3 -ve供電 0V共地
    4 外殼 外殼




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